
brooks 5866E質量流量控制器
簡要描述:5866E_模擬橡膠密封壓力式質量流量控制器模擬橡膠密封;流量范圍:0-30000sccm;壓力范圍:7
產品型號:
廠商性質:經銷商
更新時間:2025-09-11
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詳情介紹
5866E_模擬橡膠密封壓力式質量流量控制器
模擬橡膠密封;
流量范圍:0-30000 sccm;
壓力范圍:7.25 psia -1450 psia FS(橡膠密封);
7.25 psia -72.5 psia FS(金屬密封);
精度:±0.5% FS
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